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數(shù)字式四探針測(cè)試儀使用說明

更新時(shí)間:2022-05-30點(diǎn)擊次數(shù):963

 數(shù)字式四探針測(cè)試儀使用說明

SZT-1型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理 的多用途綜合測(cè)量裝置。它可以測(cè)量片狀、快狀半導(dǎo)體材料徑向和軸向電阻率,測(cè)量片狀半導(dǎo)體材料的電阻率和擴(kuò)散層的薄層電阻(方塊電阻),換上特制的四探針測(cè)試夾,還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低中值電阻進(jìn)行測(cè)量。此外,探針經(jīng)過特殊加工后,還可以測(cè)量薄膜材料電阻率。廣泛于半導(dǎo)體材料、器件廠、高等院?;瘜W(xué)物理系、科研單位,對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
本儀器測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針,定位準(zhǔn)確,游移率小,使用壽命長。
SZT-1型數(shù)字式四探針測(cè)試儀技術(shù)參數(shù):
1. 測(cè)量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的3 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□
電阻:10的-6次方 ~10的5 次方Ω
導(dǎo)電類型鑒別:電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm
2. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸
直徑:φ15~100 mm
長度:≤400mm
3. 測(cè)量方法:
軸向、斷面均可
4. 顯示方式:31/2,數(shù)顯,性、過載動(dòng)顯示,小數(shù)點(diǎn)、單位動(dòng)顯示。
5. 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數(shù)±2個(gè)字
6.四探針測(cè)試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0%
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W

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